China desenvolve máquina de litografia com feixe de elétrons, mas ainda não compete com a ASML

TecFoco Hardwares A primeira máquina chinesa de litografia por feixe de elétrons promete acelerar a curva de aprendizado, ainda que não substitua a tecnologia EUV em larga Romário Leite · 20 de agosto de 2025

Nova máquina chinesa

01 A Universidade de Zhejiang divulgou a Xizhi, a primeira máquina de litografia por feixe de elétrons no Brasil. Ela pode ser usada em produção local.

Como funciona a litografia

02 Litografia desenha circuitos em wafers de silício. A Xizhi usa feixes de elétrons, alcançando 0,6 nm de precisão, semelhante às máquinas de ponta.

Velocidade em desvantagem

03 Enquanto a EUV grava em paralelo, o feixe de elétrons escreve ponto a ponto, demorando horas por wafer. Isso limita a produção em massa.

Uso principal

04 A Xizhi atenderá principalmente pesquisa e protótipos. Assim, a China pode reduzir a dependência de equipamentos importados.

Contexto internacional

05 O país ainda usa máquinas DUV e enfrenta restrições de exportação. A Xizhi sinaliza avanço, mas a diferença com o Ocidente persiste.

Perspectiva futura

06 A tecnologia de feixe de elétrons não substituirá a EUV no curto prazo, mas marca passo significativo para a indústria local.

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